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本发明涉及罗茨泵领域,尤其是循环水冷却式罗茨泵。该罗茨泵包括罗茨泵泵体,所述罗茨泵泵体的外壳壳壁内设有冷却水流道,罗茨泵泵体的外壳上设有冷却水进水口和冷却水出水口,冷却水进水口和冷却水出水口均与冷却水流道相连通,罗茨泵泵体的外壳上设有抽真空口。本发明通过在罗茨泵泵体的外壳壳壁内设置冷却水流道,实现全包裹式的水冷结构,简化了结构,提高了散热效率。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113982944 A
(43)申请公布日 2022.01.28
(21)申请号 202111222687.X
(22)申请日 2021.10.20
(71)申请人 江苏格里克真空技术有限公司
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