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本发明的技术领域是用于检查源自光学设备(1)的光波表面的系统，所述光学设备包括出瞳(3)，所述检查系统包括光学测量头(10)和计算机(20)，该计算机用于处理从所述光学测量头输出的图像。光学测量头包括：密度梯度滤光片(11)，密度在两个空间方向上周期性变化，矩阵阵列，其至少包括四个相同的正方形透镜，其具有相同的焦距并被对称布置，以及光电检测器的矩阵阵列(13)，四个透镜中的每一个在后一矩阵阵列的平面中形成来自通孔的图像。图像处理计算机包括计算装置，所述计算装置允许计算出瞳平面内的波表面Δ(x，y
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113994179 A
(43)申请公布日 2022.01.28
(21)申请号 202080026643.7 (72)发明人 弗朗西斯 ·海诺 阿兰 ·斯潘
(22)申请日
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