一种用于晶圆清洗的干燥组件.pdfVIP

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2023-04-23 发布于四川
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一种用于晶圆清洗的干燥组件.pdf

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本发明公开了一种用于晶圆清洗的干燥组件，用沿传输方向依次设置的烘干机构、擦拭机构和吹干机构，使清洗后的晶圆依次经过烘干、擦拭和吹干。本发明利用双联动，保证了动能传输以及动能利用率，同时保证工序之间的配合，避免相互发生干涉，提高烘干效率，利用脉冲喷吹管配合滑动挡板，对圆晶进行间歇脉动方式的高压吹气，避免空气形成漩涡产生死角，保证烘干效果，利用正反转配合，从而保证在擦拭过程的效果。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113990772 A (43)申请公布日 2022.01.28 (21)申请号 202111039442.3 (22)申请日 2021.09.06 (71)申请人江苏亚电科技有限公司