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在真空泵装置中能够以比较简单的构造实现均等排气。真空泵部(1)具备外转子(12)和内定子(11);升降式闸阀部(2)具备阀体(21)和阀座(22),阀体(21)沿着真空泵部(1)的旋转轴方向相对于阀座(22)升降。而且,内定子(11)具备贯通孔(11c),所述贯通孔(11c)沿着真空泵部(1)的旋转轴方向;对阀体(21)进行支承的支承部件(23)的至少一部分被配置于贯通孔(11c)。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113994128 A
(43)申请公布日 2022.01.28
(21)申请号 202080046559.1 (74)专利代理机构 中国专利代理(香港)有限公
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