一种高纯低氧钽靶材的制备方法.pdfVIP

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2023-04-23 发布于四川
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一种高纯低氧钽靶材的制备方法.pdf

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本发明涉及一种高纯低氧钽靶材的制备方法，对高纯钽源先采用氢化‑脱氢工艺，利用氢气将高纯钽源中各种氧化物或氯化物杂质进行还原，使得高纯钽源变脆，再破碎脱氢来制取高纯钽粉，但是在破碎、筛分过程中，会导致高纯钽粉中氧含量升高，再采用加镁粉的降氧处理，将氧转化为氧化镁，再利用酸洗与干燥，可以将多余镁粉与氧化镁除去，从而得到高纯低氧钽粉；随后，将高纯低氧钽粉通过冷等静压得到结合紧密的冷压坯料，通过脱气处理进一步除去杂质气体并提高致密度，最后依靠热等静压制备得到致密度达标的高纯低氧钽靶材，将钽靶材中氧含量控

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113981390 A (43)申请公布日 2022.01.28 (21)申请号 202111272080.2 B22F 1/142 (2022.01)