半导体处理系统以及其控制组合件和方法.pdfVIP

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2023-04-23 发布于四川
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半导体处理系统以及其控制组合件和方法.pdf

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本申请涉及一种半导体处理系统以及其控制组合件和方法。所述半导体处理系统包含质量流量控制器MFC、控制组合件和处理室。所述MFC耦接到气体源以接收输入气体。耦接到所述MFC的所述控制组合件包含充装室、进气阀和排气阀。所述充装室被布置成容纳所述输入气体。所述进气阀被布置成控制针对所述充装室的所述输入气体的充装。所述排气阀被布置成控制容纳在所述充装室中的所述输入气体的释放。所述处理室耦接到所述控制组合件的所述排气阀。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113981413 A (43)申请公布日 2022.01.28 (21)申请号 202110838024.4 (22)申请日 2021.07.23 (30)优先权数据 16/939,78