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本发明公开了一种半导体微腔激光器,包括:N型电极层;衬底,设置于N型电极层上;微腔,其形状为弧边三角形,设置于衬底上;波导,连接于微腔角区;以及P型电极层,设置于微腔上。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113991421 A
(43)申请公布日 2022.01.28
(21)申请号 202111247926.7
(22)申请日 2021.10.26
(71)申请人 中国科学院半导体研究所
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