一种基于少模光纤的表面粗糙度测量系统.pdfVIP

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2023-04-23 发布于北京
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一种基于少模光纤的表面粗糙度测量系统.pdf

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本发明提供的是一种基于少模光纤的表面粗糙度测量系统。它由多通道光源、单模光纤、运动控制装置、少模光纤探测装置、光电探测器阵列、多通道数据采集器和计算机组成。少模光纤探测装置包括光纤环形器阵列，光子灯笼和少模光纤。通过对光纤模式顺序扫描，可得到包含物体表面信息的反射信号，通过相应算法解算，可以实现高精度的表面粗糙度测量。本发明的优势在于入射光路与探测光路为同一光纤，缩小了探测装置的尺寸，提高了装置集成度。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113959376 A (43)申请公布日 2022.01.21 (21)申请号 202111186344.2 (22)申请日 2021.10.12 (71)申请人桂林电子科技大学地