一种集中式自诊断真空脱附装置及其使用方法.pdfVIP

  • 0
  • 0
  • 约8.67千字
  • 约 8页
  • 2023-04-23 发布于四川
  • 举报

一种集中式自诊断真空脱附装置及其使用方法.pdf

本发明公开了一种集中式自诊断真空脱附装置及其使用方法,配有若干尾端固定有带单向阀的快插接头的统一规格样品腔,通过精密压差传感器测量样品腔和参考室压力之差,判断脱附进度;样品脱附完成后可直接通过快速接头将样品腔从脱附系统取下,测量时直接安装至测量仪器的相应位置即可,本发明实现的脱附方案具有以下优势:(1)脱附效果直观可测量,结合相关自动控制算法可实现脱附进度的自诊断;(2)通过模块化处理,将完成真空脱附的样品视为统一模块,实现了样品的“即插即测”,节省了多次测量更换样品时脱附预处理所需的时间;(3

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113976090 A (43)申请公布日 2022.01.28 (21)申请号 202011630904.4 (22)申请日 2020.12.31 (71)申请人 苏州开洛泰克科学仪器科技有限公

文档评论(0)

1亿VIP精品文档

相关文档