一种便携式真空计校准装置.pdfVIP

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2023-04-23 发布于四川
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一种便携式真空计校准装置.pdf

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本发明涉及真空校准技术领域，且公开了一种便携式真空计校准装置，所述阀门V5的表面开设有小孔C1，所述校准室VC1的输出端电连接有阀门V6，所述阀门V6的表面开设有小孔C2，所述阀门V11的输出端电连接有电容薄膜真空计G3，所述阀门V11与电容薄膜真空计G3的输出端电连接有阀门V9，所述阀门V9的输出端电连接有电容薄膜真空计G2，所述阀门V5同一阀门V6的输出端电连接有阀门V7，采用静态比对法和静态膨胀法校准时，关闭阀门V8、V9后通过V7及V5(或V6)直接进气；采用动态流量法校准时，先通过阀门

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113984278 A (43)申请公布日 2022.01.28 (21)申请号 202111227194.5 (22)申请日 2021.10.21 (71)申请人苏州莱测检测科技有限公司