一种微型LED字符显示芯片的制作方法.pdfVIP

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2023-04-23 发布于四川
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一种微型LED字符显示芯片的制作方法.pdf

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本发明公开了一种微型LED字符显示芯片的制作方法，包括以下步骤：在外延片的表面制作P、N欧姆接触电极；在晶圆旋涂光刻胶，之后蚀刻去除非发光区，形成独立的发光字段；在晶片沉淀二氧化硅绝缘膜，制作通孔；在晶片表面依次设置聚酰亚胺膜与正型光刻胶膜；对晶片进行曝光显影，之后去除正型光刻胶，并对聚酰亚胺膜进行改性；在聚酰亚胺膜制作金属导线，分割晶片得到独立的微型LED字符显示芯片。本发明能够得到较厚的聚酰亚胺膜作为绝缘膜，避免单纯采用二氧化硅绝缘膜做为隔离层所造成的金属导线与半导体侧面的漏电，同时聚酰亚胺

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113990987 A (43)申请公布日 2022.01.28 (21)申请号 202111263018.7 (22)申请日 2021.10.28 (71)申请人江西