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2023-04-24 发布于北京
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搬送装置1包括：吸盘2，以使半导体芯片103面向保持面2B的方式非接触地保持所述半导体芯片103；以及导件3，具有可抵接于半导体芯片103的芯片侧面103s的导引探针9，针对保持于吸盘2的半导体芯片103，导引探针9限制半导体芯片103沿与保持面2B的法线N的方向交叉的横向的移动。导引探针9可进行探针前端9a相对于保持面2B接近及分离的往返移动。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114026677 A (43)申请公布日 2022.02.08 (21)申请号 202080027920.6 (74)专利代理机构北京同立钧成知识产权代理