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一种柔性薄膜铂电阻传感器及其制备方法.pdfVIP

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  • 2023-04-24 发布于北京
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一种柔性薄膜铂电阻传感器及其制备方法.pdf

    本发明涉及微电子机械技术领域，具体公开了一种柔性薄膜铂电阻传感器，包括柔性铂电阻传感器基片，所述柔性铂电阻传感器基片包括聚酰亚胺基材层、铂电阻丝中间层、聚酰亚胺覆盖层，铂电阻丝中间层包括铂电阻丝和密封胶，所述铂电阻丝两端连接导线，所述铂电阻丝与所述导线的连接部分位于所述铂电阻丝中间层内；聚酰亚胺基材层和聚酰亚胺覆盖层材料为厚度0.03～0.05mm的聚酰亚胺薄膜；铂电阻丝中间层的厚度为0.05～0.08mm，所述密封胶为聚酰亚胺胶。本发明的柔性薄膜铂电阻传感器中，铂电阻传感器基片质地柔软又轻薄，

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114018425 A (43)申请公布日 2022.02.08 (21)申请号 202111300475.9 (22)申请日 2021.11.04 (71)申请人 辽宁佳宇电子产品有限公司

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