一种三维板级扇出型封装结构及其制作方法.pdfVIP

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  • 2023-04-24 发布于北京
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一种三维板级扇出型封装结构及其制作方法.pdf

本发明公开了一种三维板级扇出型封装结构及其制作方法,制作方法包括如下步骤:在承载片的正面和背面分别粘接上铜箔,形成复合载板;在复合载板上制作导电结构;在芯片一的焊盘上制作导电凸点;在复合载板上贴装芯片一;在复合载板上形成包覆导电结构和芯片一的塑封层;在塑封层表面分别制作重布线层和绝缘介质层;将承载片去除,得到封装半成品结构;在封装半成品结构的芯片一的背面分别制作重布线层和绝缘介质层;在封装半成品结构上制作信号导出结构和电连接结构;将芯片二倒装在电连接结构上,并利用外塑封保护层进行包裹,得到三维板

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114023663 A (43)申请公布日 2022.02.08 (21)申请号 202111308243.8 (22)申请日 2021.11.05 (71)申请人 华天

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