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一种用于光放大腔的测量系统,包括:输入光学元件;成像系统;以及检测器。所述输入光学元件用于接收输入辐射束并且所述输入光学元件:沿第一光路引导所述输入辐射束的第一部分;以及沿第二光路引导所述输入辐射束的第二部分(例如进入光放大腔中)。成像系统被布置在所述第一光路上并且被配置成在图像平面中形成:所述输入辐射束的所述第一部分的第一图像和第二图像,所述第一图像和所述第二图像属于沿所述第一光路的两个不同平面。所述检测器被设置在所述图像平面中且可操作以检测所述第一图像和所述第二图像。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114041087 A
(43)申请公布日 2022.02.11
(21)申请号 202080048534.5 (74)专利代理机构 中科专利商标代理有限责任
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