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本发明公开了一种高亮度暗场照明装置,包括固定座和多个照明模块,所述固定座用于定位和固定所述照明模块,所述照明模块用于将内部光源发出的光投射到被测物表面。所述固定座为空心碗型结构,旋转对称分布多个定位孔,每个照明模块安装于一个对应的定位孔内。每一个所述照明模块以一定角度照亮被测物表面,所述多个照明模块按照旋转对称方式分布,形成多个俯仰角的环形照明阵列。本暗场照明装置的照明模块阵列排布成多个环形,俯仰角覆盖范围30°~75°,扩展了应对的缺陷范围;将被测物表面反射光二次反射到被测物表面,提高了光能利
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114017709 A
(43)申请公布日 2022.02.08
(21)申请号 202111386901.5 G02F 1/13 (2006.01)
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