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一种流体泵(100)，包括流体入口(104)、流体通道(108)、流体出口(106)、电机(114)、一对电极(128)、电容传感器(124)和电流传感器(120)。流体泵(100)配置为监控第一信号和第二信号。流体泵(100)还配置为基于第一信号和第二信号中的至少一个而被控制。电容传感器(124)包括与流体通道(108)流体地联接的监控室(126)。监控室(126)至少部分地填充有气体。基于流体泵(100)的操作模式，监控室(126)允许气体由从流体通道(108)流入到监控室(126)中的流体
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 114026330 B
(45)授权公告日 2022.06.24
(21)申请号 201980097655.6 (74)专利代理机构 北京康信知识产权代理有限
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