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一种金属掩膜版及掩膜组件.pdfVIP

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  • 2023-04-24 发布于北京
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一种金属掩膜版及掩膜组件.pdf

    本发明提出的一种金属掩膜版及掩膜组件，涉及蒸镀掩膜领域。所述的金属掩膜版的中部具有规则排布的若干开口图案；所述的金属掩膜版大体上呈矩形，且其四边均具有向其网面内侧凹陷的缺口，所述的缺口用于所述的金属掩膜版在张网拉伸时的形变预留量；所述的缺口的边缘起始于所述的矩形的顶点，且所述的缺口由其中间部位至其两侧边缘的深度逐渐减小。所述的掩膜组件包括所述的金属掩膜版。本发明通过在金属掩膜版的四边设置特定的缺口作为形变预留量，降低张网拉伸时需要给靠近金属掩膜版四角位置提供的张网拉力，实现了在控制金属掩膜版张网

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114015977 A (43)申请公布日 2022.02.08 (21)申请号 202111311704.7 (22)申请日 2021.11.08 (71)申请人 南京高光半导体材料有限公司

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