激光调控纳米压印对准装置及调控方法.pdfVIP

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2023-04-24 发布于四川
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激光调控纳米压印对准装置及调控方法.pdf

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本发明公开了一种激光调控纳米压印对准装置以及调控方法，所述激光调控纳米压印对准装置包括壳体，设于壳体内的第一调准组件和第二调准组件以及检测组件。第一调准组件包括第一调准板和第一调节结构，第一调准板在第一调节结构的作用下可在x、y以及z方向上移动。第二调准组件包括第二调准板和第二调节结构，第二调准板在第二调节结构的作用下可在z方向上移动。检测组件包括发射器组，探测器组以及检测器组。其中，在第一调准板与第二调准板平行对准时，发射器组发射的紫外激光束可依次穿过第一调准板、探测器、第二调准板，被检测器组

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114019769 A (43)申请公布日 2022.02.08 (21)申请号 202111414805.7 (22)申请日 2021.11.25 (71)申请人罗刚地址江苏省苏