一种强化处理的类金刚石薄膜及其制备方法.pdfVIP

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2023-04-24 发布于四川
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一种强化处理的类金刚石薄膜及其制备方法.pdf

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本发明属于类金刚石薄膜制备的技术领域，公开了一种强化处理的类金刚石薄膜及其制备方法。所述方法：将类金刚石涂层样品进行深冷处理，获得强化处理的类金刚石薄膜；所述类金刚石涂层样品中类金刚石涂层的sp3C体积含量为42％‑75％；所述深冷处理的条件：于‑100～‑196℃保温处理4～8h。本发明先制备sp3C体积含量为45‑75％的类金刚石涂层，然后通过深冷处理诱导涂层中部分sp2C转变为sp3C，从而提高涂层中的sp3C含量和涂层硬度。本发明的方法简单，通过深冷调控手段不仅无损且便于实现规模化量产。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114351110 A (43)申请公布日 2022.04.15 (21)申请号 202111614250.0 C23C 14/16 (2006.01