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本发明包括将包含下述(a)～(d)的循环进行规定次数以对在衬底的表面形成的凹部内进行填埋的方式形成膜的工序，(a)向处理室内的衬底供给假催化剂的工序；(b)将残留在处理室内的假催化剂排出的工序；(c)向处理室内的衬底供给原料的工序；和(d)将残留在处理室内的原料排出的工序，在(a)中，在假催化剂向上述衬底表面的化学吸附成为不饱和的条件下，使假催化剂吸附于衬底的表面。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114026678 A
(43)申请公布日 2022.02.08
(21)申请号 201980097324.2 (51)Int.Cl.
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