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一种钽钛合金靶材的制备方法.pdfVIP

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  • 2023-04-25 发布于北京
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一种钽钛合金靶材的制备方法.pdf

    本发明涉及一种钽钛合金靶材的制备方法，所述制备方法包括以下步骤：(1)将钽粉和钛粉分别进行第一热处理和第二热处理后混合，得到钽钛混合粉末；(2)将步骤(1)得到的所述钽钛混合粉末依次进行包套脱气和冷等静压处理，得到钽钛压坯；(3)将步骤(2)得到的所述钽钛压坯依次进行第三热处理和热等静压处理，得到钽钛合金靶材。本发明提供钽钛合金靶材的制备方法可以有效解决靶材内部存在孔洞、成分不均等问题，提升靶材的致密度到99％以上，提升靶材的纯度至99.95％以上。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114029484 A (43)申请公布日 2022.02.11 (21)申请号 202111315033.1 B22F 3/15 (2006.01)

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