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本发明公开的一种基于梳齿电容的平衡式微小力值加载装置及方法，属于精密测量技术领域。本发明包括数据采集与控制模块、电压调整模块、压电陶瓷驱动模块、静电力平衡式压头和电容读取模块。静电力平衡式压头用于实现微小力值加载，主要由压电陶瓷堆、固定梳齿、悬浮梳齿、传导杆、压针和弹性支撑梁组成。本发明保持梳齿电容的输出电容值不变，利用压电陶瓷带动梳齿电容固定端产生垂直于压入方向的位移的同时，通过调节梳齿电容电压改变静电力，使梳齿电容悬浮梳齿的弹性支撑一直处于初始状态，当压头再次达到受力平衡时，增加的静电力直接
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114062170 A
(43)申请公布日 2022.02.18
(21)申请号 202111285637.6
(22)申请日 2021.11.02
(71)申请人 中国航空工业集团公司北京长城计
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