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产生第一部件与第二部件之间的粘合接合的方法和装置.pdfVIP

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  • 2023-04-25 发布于四川
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产生第一部件与第二部件之间的粘合接合的方法和装置.pdf

    本发明涉及用于产生微光刻的第一部件与第二部件之间的粘合接合的方法和装置，其中第二部件是光学元件。方法包括以下步骤：将第一部件和第二部件引入到定位装置(100)中，其可以改变第一部件与第二部件之间的相对位置；校准第一相对位置，在第一相对位置，第一部件与第二部件之间的距离具有限定预定义粘合间隙的第一值；校准第二相对位置，在第二相对位置，第一部件与第二部件之间的距离具有大于所述第一值的第二值；在第一部件和第二部件彼此之间相距大于所述第一值的距离时将粘合剂(26)施加到第一部件；以及在第一部件与第二部件

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114072731 A (43)申请公布日 2022.02.18 (21)申请号 202080047597.9 (74)专利代理机构 北京市柳沈律师事务所

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