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- 2023-04-25 发布于四川
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提供用于毫秒退火系统的温度测量系统。在一个示例性实施方式中，系统可以包括：远红外温度传感器，其被配置成获得在小于约450℃的处理温度下的毫秒退火系统中的衬底的一个或更多个温度测量值，毫秒退火系统包括具有晶片平板的处理室，晶片平板将处理室分成顶部室和底部室；处理电路，其被配置成对来自温度传感器的测量值进行处理以确定在小于约450℃的温度的衬底的温度。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114068368 A
(43)申请公布日 2022.02.18
(21)申请号 202111475512.X (74)专利代理机构 北京易光知识产权代理有限
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