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Fe-Pt-BN系溅射靶及其制造方法.pdfVIP

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  • 2023-04-25 发布于四川
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Fe-Pt-BN系溅射靶及其制造方法.pdf

    通过与现有方法不同的方法来解决具有高相对密度的Fe‑Pt‑BN系溅射靶的颗粒产生的问题。一种Fe‑Pt‑BN系溅射靶，其具有90％以上的相对密度，维氏硬度为150以下，能够抑制磁控溅射时的颗粒产生数。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114072536 A (43)申请公布日 2022.02.18 (21)申请号 202080049423.6 (74)专利代理机构 中原信达知识产权代理有限

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