一种直接式振镜校正系统及校正方法.pdfVIP

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2023-04-25 发布于四川
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一种直接式振镜校正系统及校正方法.pdf

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本发明适用于激光加工技术振镜校正领域，提供了一种直接式振镜校正系统，它包括：振镜控制模块，振镜扫描模块，CCD图像采集装置，CCD图像处理模块和校正处理模块。本发明还提供了上述直接式振镜校正系统的校正方法，包括5个步骤。本发明通过激光在直接在CCD图像采集装置上成像，消除了激光在校正板上灼烧不均匀导致的误差。无需外部光源，消除了外部光源不稳定导致的误差。本发明结构简单、稳定且无运动部件，消除了单点采集的电机运动误差。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114029611 A (43)申请公布日 2022.02.11 (21)申请号 202111434310.0 (22)申请日 2021.11.29 (66)本国优先权数据 2021111