原创力文档- 2
- 0
- 约6.67千字
- 约 6页
- 2023-04-25 发布于四川
- 举报
本发明公开了一种扫描电镜辅助定位裂片装置及使用方法，包括底座、第一旋转油缸和计算机，底座的顶部安装有吸附板，底座顶部四角处均焊接有支杆，支杆的顶端焊接有顶板，顶板上设有转动机构，转动机构的下方连接有变焦镜头，第一旋转油缸的转轴顶端焊接有横板，本发明设置了一种扫描电镜辅助定位裂片装置及使用方法，在使用时，同时第一旋转油缸控制两个激光定位器旋转，使两个激光定位器移动至晶圆的顶部左右两端位置的凹陷点上方，同时发射两点接触凹陷点的激光，两点成线，丝杠电机控制螺母向右移动，同时切割电机驱动划片刀进行旋转切
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114057384 A
(43)申请公布日 2022.02.18
(21)申请号 202111506757.4
(22)申请日 2021.12.10
(71)申请人 青岛天仁微纳科技有限责任公司
文档评论（0）