一种激光同时测量三自由度线性几何误差系统与方法.pdfVIP

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2023-04-25 发布于四川
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一种激光同时测量三自由度线性几何误差系统与方法.pdf

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本发明提供了一种激光同时测量三自由度线性几何误差系统与方法。系统包括：测量单元与靶镜单元，测量单元包括激光出射模块、偏振分光镜、固定反射器、第一光电探测器和干涉测长模块；靶镜单元包括反射器；激光出射模块产生出射光L1；偏振分光镜用于：①分束：将出射光L1分束为测量光L11和参考光L12，测量光L11射向靶镜单元、被靶镜单元后向反射后，携带三自由度线性几何误差信号返回测量单元；②合束：使测量光L11、参考光L12两束光在空间位置上叠加在一起，记为合束光L3。通过测量L3位置、频率、相位变化，实现沿

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114046733 A (43)申请公布日 2022.02.15 (21)申请号 202111338714.X (22)申请日 2021.11.12 (71)申请人北京交通大学地址