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用于局部控制带电粒子束的装置和方法.pdfVIP

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  • 2023-04-25 发布于四川
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用于局部控制带电粒子束的装置和方法.pdf

    在各方面中尤其地公开了一种用于带电粒子检查系统的相位板(210)，该相位板被配置和布置为修改束(600)中带电粒子的局部相位以减少透镜像差的影响。相位板由孔阵列组成，其中孔的电压和/或遮蔽度被单独或群组地控制。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114072892 A (43)申请公布日 2022.02.18 (21)申请号 202080048378.2 (74)专利代理机构 北京市金杜律师事务所

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