MEMS行业概述分析.docxVIP

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MEMS行业概述分析 面向我国蓬勃发展的高铁列车、民用航空航天、海洋工程装备、高技术船舶、能源装备等高端装备制造领域,推动海底光电缆、水下连接器、功率器件、高压直流继电器等高可靠电子元器件的应用。 利用我国工业领域自动化、智能化升级的机遇,面向工业机器人和智能控制系统等领域,重点推进伺服电机、控制继电器、传感器、光纤光缆、光通信器件等工业级电子元器件的应用。 MEMS行业概述 (一)MEMS技术概述 MEMS即微机电系统(Micro-Electro-MechanicalSystem),是利用大规模集成电路制造技术和微加工技术,把微传感器、微执行器、微结构、信号处理与控制电路、电源以及通信接口

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