一种提升绝缘隔离效果的背接触异质结太阳能电池及其制作方法.pdfVIP

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2023-04-25 发布于四川
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一种提升绝缘隔离效果的背接触异质结太阳能电池及其制作方法.pdf

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本发明涉及一种提升绝缘隔离效果的背接触异质结太阳能电池的制作方法，将半导体基板的第一主面划分为第一导电型的第一导电区和第二导电型的第二导电区；对半导体基板第一主面的第一导电区内部区域进行蚀刻形成第一导电区凹槽，对半导体基板第一主面的第二导电区进行蚀刻形成第二导电区凹槽。本发明的目的在于提供一种提升绝缘隔离效果的背接触异质结太阳能电池及其制作方法，其提高了工艺的稳定性，避免了多次掩膜操作带来工艺的复杂性，适合大规模的工艺生产。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114038922 A (43)申请公布日 2022.02.11 (21)申请号 202111511421.7 (22)申请日 2021.12.06 (71)申请人福建