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在晶片储存容器中，包括在俯视时形成于第一位置的第一被支承部的第一环形部、与包括在俯视时形成于第二位置的第二被支承部的第二环形部在上下方向上交替层叠。晶片交接装置具备第一环形机构支承部、第二环形机构支承部、升降部以及交接部。第一环形机构支承部具有上下方向的位置被固定的第一支承片和驱动第一支承片的第一驱动机构。第一驱动机构使在俯视时第一支承片与第一位置重叠的第一状态、在俯视时第一支承片与第二位置重叠的第二状态、以及在俯视时第一支承片与第一位置以及第二位置不重叠的第三状态中的任一个状态选择性地成立。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114051482 A
(43)申请公布日 2022.02.15
(21)申请号 202080048027.1 (74)专利代理机构 北京集佳知识产权代理有限
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