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承载片盒.pdfVIP

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  • 2023-04-25 发布于四川
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承载片盒.pdf

    本发明公开了一种承载片盒，所述承载片盒包括：承载架，所述承载架包括夹持臂，所述夹持臂包括在水平方向上间隔布置的第一夹臂和第二夹臂，所述第一夹臂和所述第二夹臂之间限定出夹持空间，所述硅片适于放置于所述夹持空间内，且所述第一夹臂和所述第二夹臂抵接在所述硅片在厚度方向上的两侧表面。根据本发明的承载片盒，通过设置在水平方向上间隔布置的第一夹臂和第二夹臂，并且第一夹臂和第二夹臂均与硅片在厚度方向上的两侧表面抵接，使得硅片的边缘不与承载架接触，避免了硅片边缘腐蚀清洗程度不同，从而保证了硅片边缘四周形貌均匀，

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114068371 A (43)申请公布日 2022.02.18 (21)申请号 202111447126.X (22)申请日 2021.11.30 (71)申请人 徐州鑫晶半导体科技有限公司

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