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本发明涉及一种方法,包括在衬底的表面上设置涂层,多个基种结构布置在衬底的表面上,其中基种结构的相应的高度限定了涂层的局部厚度。光学装置包括衬底、衬底的表面上的多个基种结构及在基种结构上和在衬底的表面上的涂层,其中基种结构的相应的高度限定了涂层的局部厚度。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114051650 A
(43)申请公布日 2022.02.15
(21)申请号 202080035091.6 (74)专利代理机构 北京林达刘知识产权代理事
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