基于数字色度法非接触式测量半导体硅片镀镍液体浓度的系统及方法.pdfVIP

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2023-04-25 发布于四川
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基于数字色度法非接触式测量半导体硅片镀镍液体浓度的系统及方法.pdf

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本发明公开了一种基于数字色度法非接触式测量半导体硅片镀镍液体浓度的系统及方法，系统包括辅助照明模块、图像采集模块和数据处理系统；所述辅助照明模块由激光器、反射棱镜、准直透镜和汇聚透镜组成，用于补充照明；所述图像采集模块由CCD摄像机和镜头组成，用于采集图像；所述数据处理系统基于比尔‑朗伯定律和RGB颜色空间，通过测量液体图像特征颜色的色度值，检测镀镍液体浓度。本发明使用非接触式测量的方法测量半导体硅片镀镍工艺流程中镀镍槽液体浓度，检测精度较高，高效且成本较低。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115993335 A (43)申请公布日 2023.04.21 (21)申请号 202310141574.X (22)申请日 2023.02.19 (71)申请人南京理工大学地址 210094