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本发明公开了一种冷凝液冷量充分利用的尾气回收冷凝方法，涉及尾气回收技术领域。本发明通过S1、还原尾气通过管道进入到还原尾气氢气换热器中，进行热交换，得到一次处理尾气，氢气换热器中有温度为﹣20～‑25℃的氢气；S2、通过氯硅烷加压泵将冷凝液输入到尾气一级冷凝器中，将其中充满；S3、步骤S1中得到的一次处理尾气与氯硅烷液体进行热交换，得到氯硅烷凝液以及二次处理尾气；其中，进行热交换的氯硅烷液体的温度为﹣30～‑21℃，利用换热器作为热交换器使得壳程低温氯硅烷凝液跟管程中高温尾气相互传热，加热氯硅烷
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114130054 A
(43)申请公布日 2022.03.04
(21)申请号 202111219823.X
(22)申请日 2021.10.20
(71)申请人 青海丽豪半导体材料有限公司
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