氮化物基多通道开关半导体器件和其制造方法.pdfVIP

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2023-04-26 发布于北京
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氮化物基多通道开关半导体器件和其制造方法.pdf

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本发明提供一种具有多个晶体管的氮化物基多通道开关器件。所述多通道开关器件包括衬底、多个栅极结构、多个源极电极和多个漏极电极。所述栅极结构、源极电极和漏极电极被分组以形成所述多个晶体管，并且被布置成使得每个栅极结构安置在源极电极与漏极电极之间。所述栅极结构的每一组电互连并且连接到对应于晶体管中的每一者的至少一个栅极焊垫。所述漏极电极的每一组电互连并且连接到对应于晶体管中的每一者的至少一个漏极焊垫。所述源极电极的所有组电互连并且连接到至少一个共同源极焊垫。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114097080 A (43)申请公布日 2022.02.25 (21)申请号 202180004470.3 (51)Int.Cl.