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一种低功耗可调谐室温中红外光电探测器及制作方法.pdfVIP

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  • 2023-04-26 发布于四川
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一种低功耗可调谐室温中红外光电探测器及制作方法.pdf

    本发明属于红外光电探测器技术领域，尤其是一种低功耗可调谐室温中红外光电探测器及制作方法，包括源电极、漏电极、石墨烯、衬底、设于衬底上的底电极、设于底电极上的周期极化的铁电薄膜、导线；石墨烯与周期极化的铁电薄膜接触，源电极、漏电极与石墨烯接触，源电极、漏电极的顶部均设有接触电极，本发明无需对石墨烯图形化，避免了图形化石墨烯加工过程中对材料的损伤及不光滑边缘的产生，无需复杂接触电极的制备，简化了器件的制造工艺，降低了大规模生产的成本，采用功函数有差异的金属电极作为源漏接触电极，无需外加偏压，器件即可

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114093977 A (43)申请公布日 2022.02.25 (21)申请号 202111413076.3 (22)申请日 2021.11.25 (71)申请人 成都大学 地址 61

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