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本发明公开了一种微动台及运动装置，涉及精密运动技术领域。微动台包括中间座、固定基座、承载台、水平驱动装置、垂向驱动装置和重力补偿装置，中间座底部具有容纳槽；固定基座位于容纳槽中，容纳槽的槽底和/或固定基座上开设有避让孔；承载台安装于中间座的上方；水平驱动装置为压电驱动装置并设置于避让孔中；垂向驱动装置为压电驱动装置，位于容纳槽的周向外侧且下端伸入并安装于中间座的内部；重力补偿装置的下端伸入中间座中并位于容纳槽的周向外侧，重力补偿装置的上端伸出中间座的上端面并与承载台连接。本发明通过重力补偿装置有
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 114123852 B
(45)授权公告日 2022.05.13
(21)申请号 202210082962.0 H02N 2/04 (2006.01)
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用户编号：7160061112000031
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