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一种半导体离子注入传输装置及离子注入设备.pdfVIP

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  • 2023-04-26 发布于四川
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一种半导体离子注入传输装置及离子注入设备.pdf

    本发明涉及输送技术领域，具体涉及一种半导体离子注入传输装置及离子注入设备。半导体离子注入传输装置，包括托盘、传输组件、加热组件和测温组件；传输组件与托盘连接，传输组件用于带动托盘移动；托盘包括容纳部，容纳部用于放置传输件；加热组件与托盘连接，加热组件用于加热传输件；测温组件与托盘和加热组件连接，测温组件用于测量传输件的温度，并将温度信号传输给加热组件。加热组件根据测温组件测得的温度调整对传输件的加热情况，使得传输件在传输过程中进行预热，实现温度的升高且温度控制在设定范围内，该设定温度范围即为传输

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114078677 A (43)申请公布日 2022.02.22 (21)申请号 202010846143.X (22)申请日 2020.08.19 (71)申请人 一道新能源科技（衢州）有限公司

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