用于在保持晶片翘曲覆盖率时使用不太有效像素增强数据处理吞吐量的系统及方法.pdfVIP

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2023-04-26 发布于北京
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用于在保持晶片翘曲覆盖率时使用不太有效像素增强数据处理吞吐量的系统及方法.pdf

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公开了一种检验系统。在一个实施例中，所述检验系统包含经配置以获取样本的干涉图的干涉仪子系统。所述检验系统可进一步包含经通信地耦合到所述干涉仪子系统的控制器。所述控制器经配置以：从所述干涉仪子系统接收所述干涉图；基于所接收的干涉图来产生所述样本的相位图，其中所述相位图包含多个像素；选择所述相位图的所述多个像素的像素子集用于相位展开程序；对所述相位图的所述像素子集执行一或多个相位展开程序以产生展开相位图；以及基于所述展开相位图来产生所述样本的表面高度图。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114096798 A (43)申请公布日 2022.02.25 (21)申请号 202080049425.5 (74)专利代理机构北京律盟知识产权代理有限