灵敏度可调的高线性度柔性压力传感器及其制备方法.pdfVIP

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2023-04-26 发布于四川
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灵敏度可调的高线性度柔性压力传感器及其制备方法.pdf

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灵敏度可调的高线性度柔性压力传感器及其制备方法，涉及柔性压力传感器。所述灵敏度可调的高线性度柔性压力传感器，从上至下依次设有上层柔性封装层、上电极层、敏感单元层、下电极层和下层柔性封装层；敏感单元层具有微结构面直接与上电极层接触，敏感单元层不具微结构面通过导电聚合物溶液与下电极层连接。微结构大小、数量和间距可根据实际应用需求设计，传感器在受到压力后敏感单元层微结构与电极接触面积线性增加，能够在一个压力范围内拥有高线性度，且灵敏度可通过改变数量密度和加热工艺等来按需调控。压力传感器结构简单、可控性

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114088254 A (43)申请公布日 2022.02.25 (21)申请号 202111233818.4 (22)申请日 2021.10.22 (71)申请人厦门大学地址 36