测量位错密度的方法和位错密度计数装置.pdfVIP

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2023-04-26 发布于四川
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测量位错密度的方法和位错密度计数装置.pdf

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本发明涉及一种测量位错密度的方法，该方法包括：获取测量对象的图像；根据预设的腐蚀坑筛选条件，检测所获取的图像中的腐蚀坑，并且统计计算所获取的图像中的单一腐蚀坑的平均面积值S0以及平均边界矩形长短边比R0；对所获取的图像中的黑色形状进行轮廓检测，以获得所述黑色形状的轮廓面积S以及边界矩形长短边比R；基于所述黑色形状的轮廓面积S以及边界矩形长短边比R与所述平均面积值S0以及所述平均边界矩形长短边比R0的关系，确定所述黑色形状的腐蚀坑数目；以及基于所获取的图像中的腐蚀坑的总数目和所获取的图像的总面积，

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114119590 A (43)申请公布日 2022.03.01 (21)申请号 202111462912.7 (22)申请日 2021.12.02 (71)申请人北京通美晶体技术股份有限公司