原创力文档- 5
- 0
- 约1.01万字
- 约 9页
- 2023-04-26 发布于四川
- 举报
本发明公开了一种用于热表面电离质谱灯丝碳化装置及方法，该装置包括：反应腔室、真空单元、气源、温度测量单元、真空测量单元、灯丝供电单元和圆形挡板，本发明所提供的碳化装置采用了气流分布均匀性设计，在灯丝支架的一端设置圆形挡板，另一端设置气氛入口，利用微漏阀精确控制进气压力，在保证气流均匀性和稳定性的同时，进一步降低了反应气体的消耗量，降低了应用于碳化的碳氢类有毒有害气体的排放；还采用了温度精确控制灯丝碳化反应的设计，保证了不同批次灯丝渗碳效果的均匀性，进一步提升了碳化工艺的可重复性，为超痕量锕系同位
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114093746 A
(43)申请公布日 2022.02.25
(21)申请号 202111410245.8
(22)申请日 2021.11.23
(71)申请人 中国工程物理研究院核物理与化学
您可能关注的文档
- 一种贴壁细胞培养系统.pdf
- 一种兼具糖尿病足病评估检测与换药功能的换药车.pdf
- 一种区域地质灾害气象预报预警方法.pdf
- 一种多方交易共识方法及系统.pdf
- 热管新风机及其控制方法、计算机可读存储介质.pdf
- 电力数据的处理方法、装置以及电力数据系统.pdf
- 财务数据的分析方法及装置.pdf
- 一种开关电源电路及控制方法.pdf
- 一种电解液、包含该电解液的电化学装置和电子装置.pdf
- 北斗激光线路防外破预警装置.pdf
- 广西南宁市第二中学2025-2026学年八年级下学期开学收心自测英语试卷（含解析）.docx
- 广西南宁市武鸣区武鸣高级中学等校2026年高考模拟信息卷数学试题（含解析）.docx
- 广西壮族自治区崇左市江州区2025-2026学年八年级上学期期末语文试题（含解析）.docx
- 广西壮族自治区防城港市防城区2025—2026学年八年级上学期期末地理试题（含解析）.docx
- 部编版一年级下册语文第五单元培优卷A卷（含答案）.docx
- 福建省厦门海沧实验中学2025-2026学年高二上学期期末地理试题（含解析）.docx
- 甘肃省天水市甘谷县模范初级中学2025-2026学年九年级数学下学期第一次检测考试试题（含解析）.docx
- 甘肃省武威市凉州区爱华育新学校2025-2026学年九年级上学期12月月考英语试题（解析版）.docx
- 甘肃张掖市2025--2026学年下学期九年级数学阶段反馈试卷（含解析）.docx
- 广东惠州博罗县2025-2026学年九年级上学期阶段诊断历史试卷（含解析）.docx
文档评论（0）