具有图案化折射率调制的表面浮雕光栅和制造方法.pdfVIP

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2023-04-26 发布于四川
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具有图案化折射率调制的表面浮雕光栅和制造方法.pdf

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本文公开的技术总体上涉及表面浮雕结构。在一个实施例中，表面浮雕光栅包括多个光栅脊。多个光栅脊包括：第一组光栅脊(1326)，其具有第一折射率；以及第二组光栅脊(1322)，其与第一组光栅脊交错并具有不同于第一折射率的第二折射率。多个光栅脊通过纳米压印光刻工艺压印在聚合物层中，并暴露于光图案，以形成具有不同折射率的第一组光栅脊和第二组光栅脊。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114080550 A (43)申请公布日 2022.02.22 (21)申请号 202080045258.7 (74)专利代理机构北京安信方达知识产权代理