一种用于槽式湿法设备的药液槽及使用方法.pdfVIP

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2023-04-26 发布于四川
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一种用于槽式湿法设备的药液槽及使用方法.pdf

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本发明提供一种用于槽式湿法设备的药液槽及使用方法，所述药液槽包括顶部为开口的药液槽本体、遮挡件以及具有至少一个进水口的应急水槽；其中，所述进水口位于所述应急水槽的侧壁或顶部；所述应急水槽的底部包括至少一个供晶圆进入的晶圆入口；所述应急水槽的底部与所述药液槽本体的顶部连接，且所述晶圆入口与所述开口位置对应；所述遮挡件可移动地设置在所述药液槽本体和所述应急水槽之间：被配置为封闭所述晶圆入口以使得所述应急水槽能够容纳清洗液，以及打开所述晶圆入口以使得所述晶圆能够进入所述应急水槽。本发明提供的用于槽式湿

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114141664 A (43)申请公布日 2022.03.04 (21)申请号 202111433628.7 (22)申请日 2021.11.29 (71)申请人上海华力微电子有限公司