一种感应法加热制备高温超导氧化物陶瓷外延膜的方法.pdfVIP

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2023-04-27 发布于北京
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一种感应法加热制备高温超导氧化物陶瓷外延膜的方法.pdf

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本发明公开了一种感应法加热实现高温超导氧化物陶瓷外延膜快速外延生长的方法，用于金属有机物沉积法制备第二代高温超导带材超导层过程中的高温晶化步骤，包括快速升温和快速外延生长。本发明通过无氟金属有机物沉积(FF‑MOD)法在具有缓冲层的金属基底上制备钇钡铜氧(YBCO)的前驱膜，然后放置于石英管中央，通过石英管外的感应加热线圈使得膜层快速升温，并实现快速外延生长，通过感应加热实现了氧化物膜层的快速升温和快速外延生长，抑制杂质和二次相的形成，与常规方法相比，降低了反应温度提高了材料的生长速率。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114164490 A (43)申请公布日 2022.03.11 (21)申请号 202111303828.0 (22)申请日 2021.11.05 (71)申请人上海大学地址 20