一种反射镜微位移调节机构.pdfVIP

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2023-04-27 发布于四川
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一种反射镜微位移调节机构.pdf

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本发明公开了一种反射镜微位移调节机构，用以手动实现反射镜在成像系统中的高精度位置调整。反射镜采用顶拉调整方式，并采用球头机构限制旋转轴心，确保反射镜中心位置保持不变。所述的微位移机调节机构，传动方式为螺纹副，三组差动螺纹分别实现反射镜座上三个位置的位移调整，三组位置的组合调整可实现两个维度的旋转和一个方向的平移。所述的微位移机调节机构，每组差动螺纹副两侧设计有两组拉簧，使差动螺纹副一直处于压紧状态，消除反向调整的间隙，使反射镜位置保持稳定。所述的微位移机调节机构，采用差动螺纹调整，精度可达微米级

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114167574 A (43)申请公布日 2022.03.11 (21)申请号 202111506084.2 (22)申请日 2021.12.10 (71)申请人中国科学院光电技术研究所