降低金属-石墨烯接触电阻的方法.pdfVIP

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2023-04-27 发布于北京
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降低金属-石墨烯接触电阻的方法.pdf

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本发明公开了一种有效降低金属‑石墨烯接触电阻的方法，本发明在传统的金属‑石墨烯欧姆接触工艺的基础上，通过对结构进行调整，对金属层进行了埋层电极的制作，可以有效地减少因金属与衬底的不平整而造成的石墨烯薄膜的损坏；此外通过对与金属接触的石墨烯区域进行光刻打孔，加入边缘接触的方式，有效地增加了接触面积，可以极大地降低金属‑石墨烯的接触电阻；此外，顶电极与绝缘层之间沉积有Cr层，可以更好的增加金属底电极与绝缘层之间的粘附性，进而增强器件内部结构的稳定性。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114171378 A (43)申请公布日 2022.03.11 (21)申请号 202111362226.2 (22)申请日 2021.11.17 (71)申请人中北大学南通智能光机电研究院